材料学院科教实践与材料分析创新中心建设的聚焦离子双束电镜(Focused Ion/Electron Beam, FIB)已安装调试完成，配备EBSD探头、原位纳米压痕仪，可进行二次电子形貌像/背散射像采集、EBSD扫描、TKD扫描、微柱/悬臂梁制备等离子加工、TEM样品制备、原位微纳力学测试(暂缓开放)等功能，拟于2022年9月26日对校内用户开放试运行，至10月25日为止，试运行预约及设备功能与样品要求如下所述。

1 试运行预约规则

1.1 试运行期间，电子束表征用户每日预约时长不超过4小时，费用全免；

1.2 试运行期间，离子束加工用户每日预约时长不超过4小时，离子束TEM样品制备1250元/样，离子束样品加工400元/小时，铜网+高弹膜盒50元/套；

1.3 试运行期间，设备预约开放时间为每周五下午3点，开放下周周一至周五8:00-12:00及14:30-18:00时段，晚上暂缓开放，其中9月23日开放预约9月26-30日机时；

1.4 试运行期间，设备需要专人操作，用户未经培训严禁擅自操作。

2 设备功能举例与样品要求

2.1 SEM形貌成像(二次电子、背散射像)

薄膜压痕（左）沉积锡球（右）

样品要求：非粉末样品；导电性好；常规SEM样品尺寸；多样品时高度尽量一致；样品表面抛光，视分析目的确定腐蚀与否。

2.2 EBSD扫描

薄膜截面压痕EBSD扫描（左）钛合金透射样TKD分析（右）

样品要求：非粉末样品；导电性好；表面抛光；上下底面平行；样品厚度尽量小，不镶嵌；TKD测试样品可使用电解双喷、离子减薄和FIB制样。

2.3 TEM样品制备

硅基体+氧化硅薄膜（~100nm）

样品要求：非粉末样品；非磁性样品；导电性好；表面抛光；上下底面平行；样品厚度尽量小，不推荐镶嵌。

2.4 微纳样品加工

离子刻蚀（左）Pt沉积（右）

微柱加工

样品要求：非粉末样品；非磁性样品；导电性好；表面抛光；上下底面平行；样品厚度尽量小，不推荐镶嵌。

3 测试地点

友谊校区诚字楼西侧112室

4 设备操作资质培训办法

设备试运行期间，暂停操作资质培训；

设备正式运行后，针对校内师生开展初中高级培训与考核，合格后自动获取相应功能独立操作资格，但须保证每个月至少两次上机操作经历，否则予以取消。

5 联系方式

王川云 15091763365

满 艺  18829282146

       材料学院科教实践与材料分析创新中心以提供科学、精确、公正、快捷的分析测试服务为宗旨，以培养高层次创新人才、支撑 “双一流”建设为目标，竭诚为校内外师生服务，未尽之处敬请指正！