为进一步支撑校内外师生的基础性和创新型研究，助力材料学科发展，服务材料类“总师型”人才培养，材料学院科教实践与材料分析创新中心（陕西省材料分析研究中心）的聚焦氙离子双束系统已安装调试完毕，试运行期间设备运行稳定，性能良好，现定于2026年5月11日起面向校内外用户正式开放运行，欢迎有相关测试需求的师生预约使用。设备主要信息及预约安排如下：

一、设备信息

1、设备名称：聚焦氙离子双束系统

2、品牌型号：Thermo Scientific Helios 5 PFIB CXe

3、附件信息：

（1）能谱仪：Bruker XFlash7100

（2）电子背散射衍射仪：Bruker eWARP

二、设备功能

聚焦氙离子双束系统将高分辨率场发射电子镜筒和高精度聚焦离子镜筒相结合，配备能谱仪和电子背散射衍射，以及操作系统和三维重构软件。电子束能够对复合材料，纳米材料，合金等材料的微观形貌进行高分辨成像，结合能谱仪进行微区元素的定性定量分析；利用电子背散射衍射对材料的织构、晶粒尺寸及分布、晶界及孪晶和相鉴定进行分析；通过离子束对金属、陶瓷、半导体等固体样品进行微纳加工。同时能够进行形貌、化学组成和晶体结构的大体积三维形态分析。

三、主要参数

1、电子束技术指标：

（1）电子束最佳分辨率：0.6nm@15kV；0.7nm@1kV；

（2）加速电压：0.35kV-30kV；

（3）束流强度：0.8pA-100nA；

（4）样品台偏压：-50V-4kV；

2、离子束技术指标：

（1）离子源种类：Xe离子源；

（2）交叉点分辨率：<10nm@30kV；

（3）加速电压：0.5kV-30kV；

（4）束流强度：1.5pA-2.5μA；

注：离子束系统仍在调试中，调试完成后开放预约

四、样品要求

1、样品类型：非粉末样品、非磁性样品；              

2、样品大小：长×宽×高≤20×20×10 mm；

五、预约模式：线上预约（http://smarc.nwpu.edu.cn/vue/xgd/）

六、开放时间：每周一至周五

七、收费标准：SEM、EDS、EBSD：400元/小时

八、实验地点：诚字楼西侧120室

九、联系人及联系方式：侯老师  15829738390

十、测试结果示例 ：

材料学院科教实践与材料分析创新中心

2026年5月9日